零件經真空熱處理后，畸變小，質量高，且工藝本身操作靈活。因此真空熱處理不但是某些合金熱處理的重要方法，而且在一般工程用鋼的熱處理中也有應用，比如是工具、模具和精密耦件等，經真空熱處理后使用壽命較一般熱處理有較大的提高。某些模具經真空熱處理后，其壽命比原來鹽浴處理的高40～400%，而有許多工具的壽命可增加3～4倍左右。
　　此外，真空加熱爐可在較高溫度下工作，且工件可以保持潔凈的表面，因而能加速化學熱處理的吸附和反應過程。因此，某些化學熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼，以及多元共滲都有不錯的效果。
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